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在半導(dǎo)體開發(fā)生產(chǎn)過程中，半導(dǎo)體測試是必不可少的一個環(huán)節(jié)。隨著電子產(chǎn)品功能的不斷提升，對半導(dǎo)體質(zhì)量的要求也越來越高。在研發(fā)設(shè)計及生產(chǎn)過程中，只有精確檢測半導(dǎo)體組件的各個參數(shù)，才能相應(yīng)的優(yōu)化設(shè)計方案，提升產(chǎn)品生產(chǎn)成功率。因此，半導(dǎo)體檢測就變得非常重要。近幾年，很多半導(dǎo)體生產(chǎn)廠家將X-RAY技術(shù)應(yīng)用到半導(dǎo)體檢測當(dāng)中，取得了良好的效果。
在半導(dǎo)體工業(yè)中，穩(wěn)定的X光系統(tǒng)工具被應(yīng)用于集成電路封裝中內(nèi)部連接的無損害檢測。當(dāng)X射線穿透被測元件的組織結(jié)構(gòu)時，由于被測元件存在密度和厚度的差別，使得到達(dá)增強(qiáng)屏(熒光屏)的X射線量也會有所不同，這樣在增強(qiáng)屏(熒光屏)就形成了黑白對比不同的影像，通過CCD和采集卡進(jìn)行圖像采集，再經(jīng)過軟件圖像處理，就會得到一個清晰的半導(dǎo)體元件檢測圖像，從而觀測元件內(nèi)部結(jié)構(gòu)是否存在缺陷。
半導(dǎo)體芯片的一次流片成本高達(dá)數(shù)百萬人民幣，半導(dǎo)體檢測儀器參數(shù)的任何微小調(diào)整就有可能產(chǎn)生不同的結(jié)果。由國內(nèi)專業(yè)X-RAY檢測設(shè)備生產(chǎn)商瑞茂光學(xué)提供的X-RAY檢測設(shè)備X-RAY檢測設(shè)備_X-9100，是一款大尺寸X-RAY檢測設(shè)備，它具備900*600mm大型載物臺，可支持批量的X-RAY無損精準(zhǔn)檢測；這款設(shè)備擁有300W分辨率的高清平板探測器，彩色圖像導(dǎo)航，放大倍數(shù)更大，使得被測元件的結(jié)構(gòu)圖像更清晰，看BGA虛焊更容易。
總的來看，想要提高半導(dǎo)體檢測水平，避免產(chǎn)品缺陷的產(chǎn)生，X-RAY設(shè)備的應(yīng)用是關(guān)鍵。目前，瑞茂光學(xué)提供的X-RAY檢測設(shè)備X-RAY檢測設(shè)備_X-9100已被多家半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)所采用，為半導(dǎo)體質(zhì)量提供了可靠的品質(zhì)保障。
